Z軸移動

電動(最大速度:10mm/sec.)

MM控制器後置接口

內置

光學頭

Y-TB雙目鏡目鏡筒,LV-T13三目鏡目鏡筒,LV-TT2傾斜式三目鏡目鏡筒(帶內置的十字刻劃)

Z軸線性刻度尺

內置

目鏡

CFI10× (Field No.22), CFI10× CM(Field No.22)

物鏡

CFI60 LU明視野EPI系列, CFI60 LU暗視野BD系列,CFI60 L明視野EPI CR系列

載物台

12×8,10×6,8×6

6×4,4×4,O3L,2×2

光源

透射

LED透射照明器(標準配置),12V150W鹵素燈光源(選購配件)

落射

白色LED照明器LV-EPI LED,電動通用型落射照明器LV-U EPI2A*, 
通用型落射照明器 LV-U EPI2*,通用型落射照明器 U-EPI*,
帶輔助對焦功能的通用型落射照明器LV-U EPI FA *(需使用TE2-PS100W電源)

工件最大高度

200mm

150mm

尺寸(W×D×H)/重量

385×785×725mm/約65kg

300×600×638mm/約50kg