中國砂輪企業股份有限公司
KINIK COMPANY
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產品介紹

陶瓷真空吸盤
多孔質陶瓷真空吸盤

規格數據

應用

半導體晶圓切割、研磨、清洗等

特性

  • 可重複使用
    經過修整研磨後,一定程度內可反覆使用。
  • 耐磨耗佳
    除具陶瓷堅硬特性,耐損耗、不易刮傷損壞。
  • 不易分解及發塵
    陶瓷屬於完全燒結、結構堅固穩定、不發塵。
  • 輕量化
    輕質材料且內部結構為均勻氣孔,重量極輕。

使用簡介

藉由金屬(或是陶瓷)底座以及特殊多孔質的陶瓷結合,內部精密氣道的設計,給予負壓時,可以將工件平滑穩固地吸附於真空吸盤上。

由於多孔質陶瓷的孔洞非常微細,能使工件表面貼合於真空吸盤時,不會因為負壓而造成表面的刮傷、凹陷等不良因素。

基本架構

金屬台座孔洞板的斷面

孔洞數量有限、孔徑較大、容易造成工件凹陷及變形。

規格

常用尺寸
孔徑(μm) 2~100 μm
平面度 可達0.002 mm (依工件尺寸變化)
孔隙率(%) 35~50 %
外觀色澤 黑 / 白 / 土黃
形狀 圓形、方形、圓筒形、客製化
(Conformance to all shapes is possble)
台金材質 不鏽鋼
鋁合金
鈦合金
陶瓷
尺寸 圓形 (Ø5mm to Ø600mm, 6"~12")
方形 (50mm x 50mm ~ 1,000mm x 1,000mm)
表面處裡 氟樹脂加工
陽極氧化處裡
無電解鎳處裡

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工具機
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