特長
實現解析度0.01μm（10nm）
測定指示精度為±0.1μm。提供納米級的管理環境。

實現優越的直進性和反復測量精度
擁有獨自技術的可動方式因而順暢的測砧動作，使高精度測量成為可能。

可以用一定的測量力度測量
可以防止因工件的大小不同而導致的測量錯誤。
另外，測量力度也可以根據客戶的要求來進行量身訂做。