結合表面輪廓儀與表面粗度儀功能之2合1量測儀器,採用ISO 25178-605認可之點雷射自動聚焦探針量測法(PAP),高精度雷射量測自動聚焦表面輪廓計,XYZ三軸光學保證精度0.001um(選配), 表面輪廓/表面粗度同時量測, 另外可擴充批量自動量測模組, 適合研究開發與生產管理
適合量測材料: 材料透明,不透明,軟質,硬質,顏色深,顏色淺,反射率高,反射率低...等都可以量測。
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【 產品特色 】

＊ 再現性:1σ=0.03um(鏡面標準片量測) ＊ 雷射光點聚焦:ψ1um(obj.x100)

＊ 樣品量測角度：87度 ＊ 載物台精度: (2+4L/1000)um

＊ 長行程工作範圍 (客製化可) ＊ XYZ 載台60x60x10 mm

＊ XYZ 解析0.1x0.1x0.01um ＊ 量測機內建防震系統、量測數據再現性佳

＊ 粗度分析：ISO4278、JIS B0601、ASTM B46.1 ＊ ISO25178 表面形貌量測

【 應用複合材料 】

＊可量測樣品範例如 : 表面輪廓 , 表面粗度, V Groove 輪廓 , 體積磨耗 , 尺寸段差角度, 平坦度量測, step height, ...等
＊產品應用: 精密滑軌,精密螺絲,精密齒輪,精密軸承,玻璃面板,生物晶片,橡膠製品,半導體晶圓,光阻,Bump,隱形眼鏡,油脂...等