採用ISO 25178-605認可之點雷射自動聚焦探針量測法(PAP),高精度雷射量測自動聚焦表面輪廓計,XYZ三軸光學保證精度0.001um(選配), 表面輪廓/表面粗度同時量測, 另外可擴充批量自動量測模組, 適合研究開發與生產管理。

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【 產品特色 】

＊ 載台量測行程 XYZ : 150 x 150 x 10 mm Z軸最大可擴充110mm量測行程
＊ 光學尺解析度 XYZ : 0.1 x 0.1 x 0.01um
＊ 自動聚焦再現性 AF σ=0.03 um
＊ XY軸定位再現性 0.1um
＊ 電動物鏡鼻輪切換功能
＊ 自動尋球心, Alignment量測, 修正基準面, 座標量測, 邊際判定(斷面, 圓徑, 溝槽平行度)
＊ 其他功能擴充需求, 歡迎來電詢問

【 應用複合材料 】

＊ 適合量測材料: 材料透明,不透明,軟質,硬質,顏色深,顏色淺,反射率高,反射率低...等都可以量測。
＊ 可量測樣品範例如 : 表面輪廓 , 表面粗度, V Groove 輪廓 , 體積磨耗 , 尺寸段差角度, 平坦度量測, step height, ...等。
＊ 產品應用: 精密滑軌,精密螺絲,精密齒輪,精密軸承,玻璃面板,生物晶片,橡膠製品,半導體晶圓,光阻,Bump,隱形眼鏡,油脂...等。