本儀器除具備輪廓自動化量測功能外,另可選購影像自動化量測模組
採用ISO認可之點雷射自動聚焦探針量測法(PAP),唯一高精度雷射量測自動聚焦表面輪廓計,重複精度高,

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【 產品特色 】

＊ 8" 晶圓或較大型樣品輪廓粗度量測
＊ 適合各種樣品量測, 載台承重12kgw
＊ 載台量測行程 XYZ : 250 x 200 x 10 mm
＊ Z軸量測可選配 110mm
＊ 光學尺解析度 XYZ : 0.1 x 0.1 x 0.01um
＊ 自動聚焦再現性 AF σ=0.03 um
＊ 電動物鏡鼻輪切換功能
＊ 其他功能擴充需求, 歡迎來電詢問

【 應用複合材料 】

＊ 適合量測材料: 透明, 不透明, 軟質, 硬質, 顏色深, 顏色淺, 反射率高, 反射率低之材料都可以量測。
＊ 可量測樣品範例如 : 表面輪廓 , 表面粗度, V Groove 輪廓 , 體積磨耗 , 尺寸段差角度, 平坦度量測, step height, ...等。
＊ 產品應用: 精密滑軌,精密螺絲,精密齒輪,精密軸承,玻璃面板,生物晶片,橡膠製品,半導體晶圓,隱形眼鏡,油脂...等。